探测发射 分析方法名称简称 主要用途 粒子粒子 e|低能电子衍射 LEED 结构 e反射式高能电子衍射RHED结构 e俄歇电子能谱 AES 成份 e扫描俄歇探针 SAM 微区成份 e|电离损失谱 ILS 成份 能量弥散X射线谱 EDXS 成份 e e俄歇电子出现电势谱 AEAPS成份 Y软射线出现电势谱 SXAPS成份 e消隐电势谱 DAPS成份 e电子能量损失谱 EELS原子有电子态 I电子诱导脱附 ESD 吸收原子态及成份 e透射电子显微镜 TEM 形貌 e扫描电子显微镜 SEM 形貌 2122扫描透射电子显微镜STEM形貌 52021/2/22 HNU-ZLP 5 探测 粒子 发射 粒子 分析方法名称 简称 主要用途 e e 低能电子衍射 LEED 结构 e 反射式高能电子衍射 RHEED 结构 e 俄歇电子能谱 AES 成份 e 扫描俄歇探针 SAM 微区成份 e 电离损失谱 ILS 成份  能量弥散X射线谱 EDXS 成份 e 俄歇电子出现电势谱 AEAPS 成份  软X射线出现电势谱 SXAPS 成份 e 消隐电势谱 DAPS 成份 e 电子能量损失谱 EELS 原子有电子态 I 电子诱导脱附 ESD 吸收原子态及成份 e 透射电子显微镜 TEM 形貌 e 扫描电子显微镜 SEM 形貌 e 扫描透射电子显微镜 STEM 形貌