3。工艺因素对钽况积速度的形响 影响：沉积速度的工艺因素主要是反应气体浓度和沉积温度（还原温度）。在本研究 中分别进行了不同氢气流量、氯气流量及温度的试验，从而得出它们和沉积速度的关系， 示于图3、4、5，与此曲线相对应的数据列于表1中。 表1化学气相沉积粗的速度实验值 沉 积 条 件 沉积速度 总流量 融， 得熹 H:流量 C1:流量 PTaC1s 时间 微米/分 (毫升/分) (毫升/分) (毫升/分) (大气压) (分) 200 1 1173 150 0.3750 15 0.0060 30 0.0590 200 1223 150 0.3750 15 0.0060 30 0.0990 200 1273 150 0.3750 15 0.0060 30 0.1580 200 1 1323 150 0.3750 15 0.0060 30 0.2272 200 1 1373 150 0.3750 15 0.0060 30 0.1700 200 1 1273 150 0.3750 15 0.0060 30 0.1583 200 1 1273 150 0.3750 2 0.0080 0.2030 200 1 1273 150 0.3750 25 0.0100 30 0.2360 200 1 1273 150 0.3750 30 0.0120 % 0.2508 200 1273 60 0.1500 15 0.0060 30 0.1905 200 1 1273 90 0.2250 15 0.0060 30 0.2173 200 1 1273 120 0.3000 0,0060 % 0.2432 200 1273 150 0.3750 15 0.0060 30 0.2738 11001150i000 图3表示金属钽的沉积速度与温度的 0.30r 50 900(℃) 关系。在1323K以下，钽的沉积速度随着 尔0.20 温度的升高而增大，至1323K达最大值， 米 随后呈直线下降。 研究认为，化学气相沉积反应一般是 0.10 爱 一个多相反应，即固一气相反应，故沉积 方程式可表示为： 0.05 V=kap 7.0 7.5 8.0 而 k=Koexp (-E/RT) 1/T×10*,K 图3沉积速度与温度的关系 oxp (Q/RT) a=- 式中： V一沉积速度， 女 一速度常数 a 一一吸附系数 P 一反应气体分压， K。一频率因子 E— 反应活化能， Q—一吸附热 120工艺因素对担沉积速度的影响 影 响粗沉积速度的工 艺 因素主要是 反应气体浓度 和沉积温度 还 原温度 。 在本研究 中分别进行 了不 同氢气流量 、 氯气流量 及温度 的试 验 ， 从而 得 出它们和沉积速度的关系 ， 示 于 图 、 、 ， 与此 曲线相对应的数据列于 表 中 。 裹 化学气相沉积 担的速度实验值 沉 积 乡条 件 总流 奄升 分 总 压力 《大气压 温度 流盈 毫升 分 大气 压 流 量 毫升 分 。 大气压 时间 分 沉积速度 微米 分 。 。 。 。 。 了 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 山曰自， 八八”甘璐﹄﹃﹃ 八甘甘八︸ ，占， 孟工上山由几占， 勺﹄知，︸﹄ “甘︸︸︸︸ 尹 了 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 占立弓上，妞占心 ‘几通上‘ 勺﹄勺﹃︸”﹄甘甘﹄ 口甘品， 八娜甘﹃﹄ 了 。 ‘ 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 占人几 一 。 ‘ 从 …口卜「 卜 图 表示金属担的沉积速度与温度 的 关系 。 在 以下 ， 钮的沉积速度随着 温度 的升高而 增大 ， 至 达最大值 ， 随后呈直线下 降 。 · 研究认为 ， 化学气相沉积反应一般是 一个多相反应 ， 即固一气相反应 ， 故 沉积 方程式可 表示为 、拟兴饭 ‘ 侧划薄以 式 中 ‘ ， 图 沉积速度与温度的关系 －沉积速度， － 速度常数， － 吸 附系 数， － 反应气体分压， 。 一 频率因子， － 反应活化能 ， － 吸 附热， 而 一 ， 八 ’ ” 、 一 二异。 了 、 一 ‘ 一 、 一