3.051/BE.340 表面修饰方法 A.等离子体处理 等离子体:在施加电场作用下离子/电子产生的离子化的气体(离子,电子,自由基, 原子,分子)A+e→A+2e 用途 表面刻蚀 使用惰性气体(如,Ar) 目的:去除杂质,增加粗糙度 2.表面反应 交联聚合物表面 改善传输性能,降低表面迁移性 表面产生功能性基团 提高或降低v1,产生活性表面 O, CO, CO: -C-O-.-C=0.-0-C=O.-C-O-0 N2,NO2,NO(氧化一氮):C-N,-C=N,-C≡N(加以上的) NH3(氨):-NH,-NH2(加以上的) CF4,C2F6(六氟乙烷):-CF,-CF2,-CF36 3.051/BE.340 表面修饰方法 A． 等离子体处理 等离子体：在施加电场作用下离子/电子产生的离子化的气体（离子，电子，自由基， 原子，分子）A+e A+ +2e 用途： 1． 表面刻蚀 ¾ 使用惰性气体（如，Ar） ¾ 目的：去除杂质，增加粗糙度 2． 表面反应 ¾ 交联聚合物表面 改善传输性能，降低表面迁移性 ¾ 表面产生功能性基团 提高或降低γ1，产生活性表面 氧化一氮 加以上的 氨 六氟乙烷 加以上的