二、典型机床简介 DTM-3大型超精密车床 采用精密数控伺服方 式,控制部分为内装式 CNC装置和激光干涉测长 仪,精确测量定位,在 DC伺服机构内装有压电 微位移机构,实现纳米 级微位移。 图4-4美LLL实验室的3号大型 超精密车床(DTM-3)外观图 2021/2/212021/2/21 二、典型机床简介 DTM-3大型超精密车床 采用精密数控伺服方 式，控制部分为内装式 CNC装置和激光干涉测长 仪，精确测量定位，在 DC伺服机构内装有压电 微位移机构，实现纳米 级微位移