目录 第1章纳米技术概论……………………………………………… 1引言 2基本概念和内涵………………… 1.3纳米技术发展简史 .4纳米技术的应用…… ………………………………………………6 1.5纳米技术发展的主要难点… p甲,垂 主要参考文献 ………………………………………………………………14 第2章纳米电子技术基础……… 、P;,中,甲,·中,4 2.1纳米效应…………… 甲普非由D国非,、日 22纳米薄膜技术………… 2.2.1基片的选择 2.2.2制膜方法…………………………………………………………24 2.2.3成膜方法比较 2.3超晶格与低维材料 2.3.超晶格材料及其电子状态………… 33 2.3.2低维材料… …………………………………42 2.3.3多孔硅………… ………44 2.3.4纳米微品硅薄膜………………"………… 2.4纳米器件工艺概论…… ……46 主要参考文献 第3章纳米导电材料… ………………………………52 3.1纳米金属的性质与制备…… …………52 l.1纳米金属材料的主要物理性质…………………………………………52 3.1.2纳米金属固体的制备方法………5 3.1.3纳米金属膜的制备方法………………………… 54 3.1.4纳米金属的结构与形态 54 3.1.5纳米金属中的晶界和非平衡结构合金…………………………………………55 3.2纳米金属在电子工业中的应用……………………56 3,2.纳米铜… 32.2纳米导电浆料… ……58 323低渥焊料………………………………… ……60