基于微镜式MEMS(二维) ◆◆ ◆◆◆ ◆0 4◆A ◆ 44 ◆、 ◆◆ 个个 个44 ◆ 44 ◆今个个 ◆◆ ◆◆ 4X4 4×4组成的8×8 2022/10/7 52022/10/7 5 基于微镜式MEMS（二维） 4×4 4×4组成的8×8