@电谱 §84俄歇电子能谱(AES) 1925年法国的物理学家俄歇( PAuger)在用X射线研究光 电效应时就已发现俄歇电子,并对现象给予了正确的解释。 1968年L.A. Harris采用微分电子线路,使俄歇电子能谱开始 进入实用阶段。 1969年, Palmberg、Bohn和 Tracey引进了筒镜能量分析器 提高了灵敏度和分析速度,使俄歇电子能谱被广泛应用 俄歇电子能谱的基本机理是:入射电子束或X射 线使原子内层能级电子电离,外层电子产生无辐 射俄歇跃迁,发射俄歇电子,用电子能谱仪在真 空中对它们进行探测。§8.4 俄歇电子能谱(AES) 俄歇电子能谱的基本机理是：入射电子束或X射 线使原子内层能级电子电离，外层电子产生无辐 射俄歇跃迁，发射俄歇电子，用电子能谱仪在真 空中对它们进行探测。 •1925年法国的物理学家俄歇（P.Auger）在用X射线研究光 电效应时就已发现俄歇电子，并对现象给予了正确的解释。 •1968年L.A.Harris采用微分电子线路，使俄歇电子能谱开始 进入实用阶段。 •1969年，Palmberg、Bohn和Tracey引进了筒镜能量分析器， 提高了灵敏度和分析速度，使俄歇电子能谱被广泛应用