较高,因此采用了透射式的照明系统 对光学系统的要求是 ①要使被测物得到均匀的照明。为了提高测量精度,必须采用远 心成像系统。因为当被测件具有一定的厚度时,在会聚光照明 下会产生较大误差。故照明系统最终采用象方远心光路的柯勒 照明方式。 ②要求适当的校正球差、色差,采用双胶合透镜,可使象差得到 校正 3.3投影系统的确定 在仪器中,投影系统就是把工件表面影像投影到CCD光敏面上。为 了提髙检测精度,要求投影系统清晰、放大倍率准确 本设计中采用2的投影系统。光路如图3.2 物镜 目镜 图3.2 3.4计算机处理系统 3.4.1计算机处理系统组成较高，因此采用了透射式的照明系统。 对光学系统的要求是： ① 要使被测物得到均匀的照明。为了提高测量精度，必须采用远 心成像系统。因为当被测件具有一定的厚度时，在会聚光照明 下会产生较大误差。故照明系统最终采用象方远心光路的柯勒 照明方式。 ② 要求适当的校正球差、色差，采用双胶合透镜，可使象差得到 校正。 3.3 投影系统的确定 在仪器中，投影系统就是把工件表面影像投影到 CCD 光敏面上。为 了提高检测精度，要求投影系统清晰、放大倍率准确。 本设计中采用 2  的投影系统。光路如图 3.2： 物镜 目镜 图 3.2 3.4 计算机处理系统 3.4.1 计算机处理系统组成