中国科学技术大学物理系微电子专业 P型杂 扩散法 n型Si 欧螃拔愈 图6-4扩散法制造pn结过程 N(x N (x) 离子注入法 P-N Junction formation N(x, t) (a) L. Fabrication by Diffusion DRIVE-IN I PREDEP N(x)=N erfc- N(x1) 2021/1/30 Semi conductor Physics中国科学技术大学物理系微电子专业 Semiconductor Physics 2021/1/30 7 扩散法 离子注入法