第七章其他特种加工技术 电子枪系统 聚焦系统 抽真 电子束 空系 统 工件 电源 及控 制系 统 图1电子束加工原理第七章 其他特种加工技术 图1 电子束加工原理电 子 枪 系 统 聚 焦 系 统 电 子 束 工 件 抽 真 空 系 统 电 源 及 控 制 系 统