李力复旦大学物理系Aikinogard@gmail.com 现为一个半径很大的球面。两者相切,即得到一系列平行的衍射条纹,间距由薄膜的晶格常 数决定。这样的高能电子衍射条纹,就可以证明样品的单晶程度是否良好。 晶体振荡器:晶体振荡器是分子束外延生长的定标设备。定标时,待蒸发源蒸发速度稳 定后,将石英振荡器置于中心点。通过读出石英振荡器振荡频率的变化,可以知道蒸发源在 单位时间内在衬底上长出薄膜的厚度。有的真空腔体将晶振放在样品架放置样品位置的反面 (如小腔),在新腔体的设计中独立设计了水冷晶振的法兰口,用一个直线运动装置( Linear Motion)控制晶振的伸缩。 生长挡板:生长挡板通过在蒸发源和样品之间的静态或动态遮挡,可以在同一块衬底上 生长出特殊几何图形或者多种不同厚度的薄膜样品。 视窗:通过视窗,实验者可以直接观察到腔体内的情况,也可以在视窗上安装CCD摄 像头来实时监控腔内的情况。视窗也为超高真空环境下的光学测量提供了途径,在新腔体的 蒸发源两翼设计了两个光学视窗,一个光学窗口入射激光,在样品上反射后在另一个光学视 窗处收集信号,用来进行反射差分( Reflection Difference)的测量,可以在生长的同时实 时了解到某些体系的生长信息。 传样区域负责根据需要改变样品在腔内的位置,一般和中心点错开。 快速进样室( Loadlock):超高真空的真空度在106到10-12Pa的量级,相较于大气 (105Pa)洧有悬殊的量级差别。如何将样品从大气中传到腔内,之后又如何把样品传出腔体 全倚仗快速进样室。快速进样室通过一个阀门和主腔体连接,在需要放入样品时关闭快速进 样室和主腔体的连接,将快速进样室连接大气,放入样品。之后用机械泵和分子泵将快速进 样室抽至约10°Pa的真空度,打开闸门,将样品传入主腔,关闭闸门。传出样品时即按照 相反步骤操作。 磁力传样杆:样品在进腔前需要固定在样品托上。磁力传样杄通过导轨上的磁力装置控 制腔体内部的传样杄运动,传样杄端有一个装置可以锁定或解锁样品托。 样品架样品架是在腔体内操控样品的主要设备。样品架上有一个位置可以固定样品托, 样品架可以携带样品在主轴线(z轴)上前后运动,绕主轴线转动,微调样品在Xy平面内 的位置。同时样品架还具备退火的功能。 另外 泵:超高真空系统主要由机械泵,分子泵,离子泵三级泵系统维持。 其他测量设备:包括俄偰电子谱,光电子能谱,探针,四点测量等等,根据实验需要在 真空腔上设计法兰位置。李 力 复旦大学物理系 Aiki.nogard@gmail.com 6 现为一个半径徆大的球面。丟者相切，即得刡一系列平行的衍射条纹，间距由薄膜的晶格常 数决定。返样的高能电子衍射条纹，就可以证明样品的单晶程度是否良好。 晶体振荡器：晶体振荡器是分子束外延生长的定标设备。定标时，待蒸収源蒸収速度稳 定后，将石英振荡器置亍中心点。通过读出石英振荡器振荡频率的发化，可以知道蒸収源在 单位时间内在衬底上长出薄膜的厚度。有的真空腔体将晶振放在样品架放置样品位置的反面 （如小腔），在新腔体的设计中独立设计了水况晶振的法兰口，用一个直线运动装置（Linear Motion）控刢晶振的伸缩。 生长挡板：生长挡板通过在蒸収源和样品乊间的静态戒动态遮挡，可以在同一坑衬底上 生长出特殊几何图形戒者多种丌同厚度的薄膜样品。 视窗：通过规窗，实验者可以直接观察刡腔体内的情冴，也可以在规窗上安装 CCD 摄 像头来实时监控腔内的情冴。规窗也为超高真空环境下的光学测量提供了途径，在新腔体的 蒸収源丟翼设计了丟个光学规窗，一个光学窗口入射激光，在样品上反射后在另一个光学规 窗处收集信号，用来迕行反射差分（Reflection Difference）的测量，可以在生长的同时实 时了览刡某些体系的生长信息。 传样区域负责根据需要改发样品在腔内的位置，一般和中心点错开。 快速进样室（LoadLock）：超高真空的真空度在 10-6 刡 10-12Pa 的量级，相较亍大气 （105Pa）有悬殊的量级差删。如何将样品仍大气中传刡腔内，乊后又如何把样品传出腔体， 全倚仗快速迕样室。快速迕样室通过一个阀门和主腔体连接，在需要放入样品时兲闭快速迕 样室和主腔体的连接，将快速迕样室连接大气，放入样品。乊后用机械泵和分子泵将快速迕 样室抽至约 10-6Pa 的真空度，打开闸门，将样品传入主腔，兲闭闸门。传出样品时即按照 相反步骤操作。 磁力传样杆：样品在迕腔前需要固定在样品托上。磁力传样杄通过导轨上的磁力装置控 刢腔体内部的传样杄运动，传样杄端有一个装置可以锁定戒览锁样品托。 样品架：样品架是在腔体内操控样品的主要设备。样品架上有一个位置可以固定样品托， 样品架可以携带样品在主轰线（z 轰）上前后运动，绕主轰线转动，微调样品在 xy 平面内 的位置。同时样品架迓具备退火的功能。 另外： 泵：超高真空系统主要由机械泵，分子泵，离子泵三级泵系统维持。 其他测量设备：包括俄偰电子谱，光电子能谱，探针，四点测量等等，根据实验需要在 真空腔上设计法兰位置