4其它要求洁净室内使用得各种气体,如氮气、氧气、氢气、压缩空气等气体,其含尘 浓度高于室内含尘浓度时要装置气体过滤器。 洁净室内各种管道一般均为暗装,并要考虑检修方便,照明灯具得设计选用要注意防止积 尘,不易积尘和易于擦拭的灯具可以明装,当灯具暗装时,要注意密封,电器插座,接线盒等 暗装。 洁净室内根据具体情况设置事故照明、安装电话、紧急电铃等设施,一旦发生事故,可以 发出信号 5洁净室级别在确定改建、扩建和新建的洁净室工程方案时,在满足生产要求的前提下, 能够采用低洁净度级别的就不要采用高洁净度级别。在同一洁净室内的不同区域,能够采用不 同洁净度级别的就不要笼统地采用同一高洁净度级别 系统方案的确定 1.净化系统的划分,凡属下列情况之一者,一般分开设置净化系统。 ①平行流洁净室与乱流洁净室 ②高效空气净化系统和中效空气净化系统。 ③运行班次和使用时间不同的洁净室。 2.系统设计时,应考虑以下几点 ①洁净室面积、净高、位置和消声、减振等要求,经综合技术经济比较后,确定系 统形式。一般情况下,与面积较大、净高较高、位置集中和消声减振要求严格的 洁净室采用集中式系统,反之,可采用分布式系统 ②当工艺无特殊要求时,在保证新鲜空气量和洁净室正压条件下,净化系统要尽量 利用回风。 ③当洁净室使用剧毒溶液或易燃、易爆物品时,要根据具体情况采取事故排风措施 或防火措施(如设风道防火阀) 净化系统设置消声器时,要注意消声器的产尘和积尘。尽量选用气流畅通、阻力 小的管式火片式消声器 消声器的位置一般设在中效过滤器之前的送风总管和回风总管上。 3.洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备,应设局部排风装置,排风口的操作面积应 尽量小,以减少排风量 排风系统设计时要注意以下几点: ①两个净化系统的局部排风点,一般不能共享一个局部排风系统 ②当局部排风系统停止运行时,为防止空气倒灌,可在风机吸入段设置中效过滤器 或止回阀 ③要注意消声问题,若设置消声器,要设在排风系统的吸入段上。 ④尽量减少排风量。 ⑤有害气体浓度高于国家有关规定的,排放时要处理 设置值班风机一般情况下,洁净室可不设值班风机,当工艺要在非生产时间洁净室 仍要维持一定的洁净度时,可设值班风机,其送风量按维持洁净室正压所需的风量考4.其它要求 洁净室内使用得各种气体，如氮气、氧气、氢气、压缩空气等气体，其含尘 浓度高于室内含尘浓度时要装置气体过滤器。 洁净室内各种管道一般均为暗装，并要考虑检修方便，照明灯具得设计选用要注意防止积 尘，不易积尘和易于擦拭的灯具可以明装，当灯具暗装时，要注意密封，电器插座，接线盒等 暗装。 洁净室内根据具体情况设置事故照明、安装电话、紧急电铃等设施，一旦发生事故，可以 发出信号。 5.洁净室级别 在确定改建、扩建和新建的洁净室工程方案时，在满足生产要求的前提下， 能够采用低洁净度级别的就不要采用高洁净度级别。在同一洁净室内的不同区域，能够采用不 同洁净度级别的就不要笼统地采用同一高洁净度级别。 三、系统方案的确定 1. 净化系统的划分，凡属下列情况之一者，一般分开设置净化系统。 ① 平行流洁净室与乱流洁净室。 ② 高效空气净化系统和中效空气净化系统。 ③ 运行班次和使用时间不同的洁净室。 2. 系统设计时，应考虑以下几点： ① 洁净室面积、净高、位置和消声、减振等要求，经综合技术经济比较后，确定系 统形式。一般情况下，与面积较大、净高较高、位置集中和消声减振要求严格的 洁净室采用集中式系统，反之，可采用分布式系统。 ② 当工艺无特殊要求时，在保证新鲜空气量和洁净室正压条件下，净化系统要尽量 利用回风。 ③ 当洁净室使用剧毒溶液或易燃、易爆物品时，要根据具体情况采取事故排风措施 或防火措施（如设风道防火阀） ④ 净化系统设置消声器时，要注意消声器的产尘和积尘。尽量选用气流畅通、阻力 小的管式火片式消声器。 消声器的位置一般设在中效过滤器之前的送风总管和回风总管上。 3. 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风口的操作面积应 尽量小，以减少排风量。 排风系统设计时要注意以下几点： ① 两个净化系统的局部排风点，一般不能共享一个局部排风系统。 ② 当局部排风系统停止运行时，为防止空气倒灌，可在风机吸入段设置中效过滤器 或止回阀。 ③ 要注意消声问题，若设置消声器，要设在排风系统的吸入段上。 ④ 尽量减少排风量。 ⑤ 有害气体浓度高于国家有关规定的，排放时要处理。 4. 设置值班风机 一般情况下，洁净室可不设值班风机，当工艺要在非生产时间洁净室 仍要维持一定的洁净度时，可设值班风机，其送风量按维持洁净室正压所需的风量考 虑