(2)集成电路的出现 *1962年12个元件的集成块 *1965年初近100个元件的集成块(SSI小 规模集成电路); *1965年底100-100个(MSI中规模集成电 路); 1971年1000-10万个(ISI大规模集成电 路) *1978年10万-100万个/30mm2(VSⅠ超大 规模集成电路)（2）集成电路的出现 **1962年 12个元件的集成块 **1965年初 近100个元件的集成块（SSI小 规模集成电路）； **1965年底 100-1000个（MSI中规模集成电 路）； **1971年 1000-10万个（LSI大规模集成电 路） **1978年 10万-100万个/30mm2（VSLI超大 规模集成电路）