第6页】 2.XPS中涉及的物理学原理 √X射线物理 √光电效应 √能量分析 √超高真空 √系统集成第 6 页 2. XPS中涉及的物理学原理 ü X射线物理 ü 光电效应 ü 能量分析 ü 超高真空 ü 系统集成