至要教材及参考书 莫锦秋梁庆华等,《微机电系统设计与制造》,化 学工业出版社,20043 刘广玉樊尚春等,《微机械电子系统及其应用》, 北京航空航天大学出版社,2003.2 (美)徐泰然著,王晓浩等译《MEMS和微系统一 设计与制造》,机械工业出版社,20041 ■梅涛伍小平主编,《微机电系统》,化学工业出版 社,2003.1 [德J] WMenz小Mohr等著,王春海于杰等译《微系 统技术》,化学工业出版社,2003.9主要教材及参考书 ◼ 莫锦秋 梁庆华等，《微机电系统设计与制造》，化 学工业出版社，2004.3 ◼ 刘广玉 樊尚春等，《微机械电子系统及其应用》， 北京航空航天大学出版社，2003.2 ◼ （美）徐泰然著，王晓浩等译《MEMS和微系统— 设计与制造》，机械工业出版社，2004.1 ◼ 梅涛 伍小平主编，《微机电系统》，化学工业出版 社，2003.1 ◼ [德]W.Menz J.Mohr等著，王春海 于杰等译《微系 统技术》，化学工业出版社，2003.9