0,90 0700t △580℃ ●435℃ 0380℃ H/E-H.C Non-dimond growth region 2”。 13 2 No-growth region Twmm門 0.02 0 0.06 0,10 0/E÷ 0+G 图8低温沉积金刚石薄膜的C-H-O相图 Fig.8 Phasc diagram of diamond film growth at low temperatures 3结 论 (1)在CH,~H2系统中加人氧可以显著地改善气相生长金列石薄模为质量，降低非金刚 石相的含量，诚少膜的晶体缺陷。 (2)利用微波辅助等离子体CVD技术，采用适当的工艺参数，可以实现金刚石薄膜在 700-290℃范围内的低温沉积。 (3)氧在金刚石薄膜低温沉积中的重要作用应归因于在低温下原子态氧比原子态氢具有 对非金刚石碳的更强的刻蚀能力。 (4)初步分析表明，随着沉积温度的降低，C-H-O相图上的金刚石生长相区移向O顶 点的方向，但移动的幅度可能不大。 致谢：建材研充完石英玻璃研究所为本研究提失了各种牌号的低容点陛消，北京物理并和北京大学提供了R1m2· 散射语的测试服务，特此致谢。 参考文献 1 Seal M.In:Tzen Y,Yoshikawa M,Marakawa M,and Feldman A.eds. Application of Diamond Films and Related Materials,Elsevier Science Publishers B,V.,1991:3 2吕反修，金刚石和类金刚石薄膜研究及商品化动态分析，出国考察报告。国家科委 863联办内部资料，1989 3 Tzen Y.Diamond Films and Technology,1991,(1):31 4 Takura H and Yoshikawa M,In:Tzen Y,Yoshikaw M,Marakawa M, 174N o n一 d i am o n d 0 7O 0 t 0 5 8 0 O C . 石 3 5℃ 心 3 8 0 弋 0 3 3 5 t . Z g o Co r e g i o n 关 9 ,\ 3护i冷 - 1弓燕多沁 、 , 酬 得树 14 JO一 g r o w t h r e g 1 0 n 护冷一写 - - - - - -一 H o ` 一 0 · 0 2 _ _ o ’ 0 · 。 6 一 U /乞 二 , : - 下二 V 个 沙 一 .0 10 图 8 低温沉积金刚石 薄膜的 C 一 H 一 O 相图 F 19 。 5 p h a s e d i a g r a m o f di a m o n d f i l m g r o w t h a t l o w t e 垃 P e r a t u r e s 3 结 论 ( 1) 在 C H ` 一 H : 系究中加人氧可以显著地 改 善气相 全 关金观石 薄漠 为 质量 。 降低 非 金刚 石相的 含量 , 减 少膜的晶体缺陷 。 ( 2) 利用 微波辅助等离子体 C v D 技术 , 采用适 当的工艺参数 , 可 以实现金刚石 薄 膜在 7 0。 一 2 9 0 ℃ 范围内的低温沉积 。 ( 3) 氧在金刚石薄膜 低温沉积 中的 重要 作用 应归因于 在低温下原子态氧比原子态氢具有 对非金刚石碳的 更强的刻蚀能力 。 ( 4) 初步分析表 明 , 随着沉积温度的 降低 , C 一 H 一 O 相图上的金刚石 生长相 区 移 向 O 顶 点的方向 , 但移动的幅度可能不大 。 致姗 : 建 材砰充亮 石英 玻漓开究听为本开完 提共了各种牌号为阮堆 . 气玻姚 , 北京物皿 听和化京大学提共了K ; 。 : 。 徽射讲的侧 试服务 , 待此致谢 。 今 考 文 献 1 S e a l M 。 I n : T z e n Y , Y o s h i k a w a M , M a r a k a w a M , a n 通 F e ld m a n A 。 e d s . A p P li e a t i o n o f D i a m o n d F i l m s a n d R e l a t e d M a t e r i a l s 。 E l s e v i e r S e s e n e e P u b l i s h e r s B 。 V 。 , 1 9 9 1 : 3 2 吕反修 。 金刚石和 类金刚石薄膜研究及商品 化动态分析 , 出国考察报告 。 国 家 科 委 8 6 3联办内部资料 , 1 9 8 9 3 T 艺e n y 。 D i a m o n d F i lm s a n d T e e h n o l o 盯 , 1 9 9 1 , ( 1 ) : 3 1 4 T a k u r a H a n d y o s h i k a w a M . I n : T z e n Y , Y o s h i k a w M , M a r a k a w a M , 其了礴