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引言 “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo,其意义 是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。 在指定的空间内,低于一个大气压力的气体状态 统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空 度,通常用压力值表示。 真空技术是基本实验技术之一。自从1643年 托里拆利(E.Torricelli)做了著名的有关大气压力 实验,发现了真空现象以后,真空技术迅速发展。 现在,真空技术已经成为一门独立的前言学科。 它的基本内容包括:真空物理、真空的获得、真 空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随 着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子 学、薄膜技术、治金工业以及材料学等尖端科技 的发展,真空技术在近代尖端科学技术中的地位 越来越重要。 引言 ⚫ “真空”这一术语译自拉丁文Vacuo,其意义 是虚无。其实真空应理解为气体较稀薄的空间。 在指定的空间内,低于一个大气压力的气体状态 统称为真空。真空状态下气体稀薄程度称为真空 度,通常用压力值表示。 ⚫ 真空技术是基本实验技术之一。自从1643年 托里拆利(E. Torricelli)做了著名的有关大气压力 实验,发现了真空现象以后,真空技术迅速发展。 现在,真空技术已经成为一门独立的前言学科。 它的基本内容包括:真空物理、真空的获得、真 空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。随 着表面科学、空间科学高能粒子加速器、微电子 学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技 的发展,真空技术在近代尖端科学技术中的地位 越来越重要
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