8.2.2蚀刻机理 1)Fec3+Cu→Fe2+CuC 2)FeCl3+CuCl-FeCl2+CuCl 3)cuc2+Cu→2CuCl www.themegallery.comwww.themegallery.com ❖8.2.2蚀刻机理 1) FeCl3＋Cu→FeCl2+CuCl 2) FeCl3＋CuCl→FeCl2＋CuCl 3) CuCl2＋Cu→2CuCl