最有代表性的 二极直流放 工作体 电离子镀装 置的示意图 调子体 离子镀的两个基本条 直:2 件 ●要有一个具有偏 置电压的气体放 电空间 ●要使被沉积的物 质(金属原子、 样国 气体分子)在放 子发 古弹 电空间内部分离 和射法的结合最有代表性的 二极直流放 电离子镀装 置的示意图 蒸发和溅射法的结合 离子镀的两个基本条 件： ⚫ 要有一个具有偏 置电压的气体放 电空间 ⚫ 要使被沉积的物 质（金属原子、 气体分子）在放 电空间内部分离 化 —— ——