、概述 目前的谐振式传感器种类很多。包括 以精密合金用精密机械加工制成的谐振亻 谐振梁、谐振膜、谐振弯管;以及利用微 机械加工技术,以硅和石英为基底制的 微结构谐振式传感器;另外,声表面波传。0 感器是一种基于高的机械振动频率的谐振 式传感器。上述谐振式传感器的频率范围 音频到100MHz。一、概述 目前的谐振式传感器种类很多。包括 以精密合金用精密机械加工制成的谐振筒、 谐振梁、谐振膜、谐振弯管；以及利用微 机械加工技术，以硅和石英为基底制出的 微结构谐振式传感器；另外，声表面波传 感器是一种基于高的机械振动频率的谐振 式传感器。上述谐振式传感器的频率范围 是从音频到100MHz