北章化工大学 化学实验教学中心 能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是 用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描 电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波 长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能 量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能 量不同这一特点来进行成分分析的。北京化工大学 化学实验教学中心 能谱仪(EDS, Energy Dispersive Spectrometer)是 用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描 电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波 长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能 量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能 量不同这一特点来进行成分分析的