集成压力传感器的基本原理 △R R2 Ra R RRRR 应变 3 图1压力传感器基本结构及桥式电路 在2、5两点加电压,四个应变电阻相等;当气体进入时,会使应变膜 弯曲形变,导致四个应变电阻变化集成压力传感器的基本原理 1 6 2 3 5 R2 R1 R3 R4 图1 压力传感器基本结构及桥式电路 在2、5两点加电压，四个应变电阻相等；当气体进入时，会使应变膜 弯曲形变，导致四个应变电阻变化。 U13 = 𝑈 𝑅 ∙ ∆𝑅