实验目的 了解激光干涉测量的原理 掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉 测量方法 了解激光干涉测量方法的优点和应用场合一、实验目的 • 了解激光干涉测量的原理 • 掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉 测量方法 • 了解激光干涉测量方法的优点和应用场合