8.24蚀刻工艺 用三氯化铁为蚀刻剂的蚀刻工艺流程如下: 预蚀刻检查→蚀刻→水洗→浸酸处理→水洗→干燥 →去除蚀层→热水洗→水冲洗→(刷洗)→千燥 →检验 www.themegallery.comwww.themegallery.com ❖8.2.4 蚀刻工艺 用三氯化铁为蚀刻剂的蚀刻工艺流程如下： 预蚀刻检查→蚀刻→水洗→浸酸处理→水洗→干燥 →去除蚀层→热水洗→水冲洗→（刷洗）→干燥 →检验