光核能量 'p一→的置放大 路 A/D TP801B 打 单 光带能量 开 奠 海 板 换 机 r一前置放人一关 中断采集处理，纶1'D转换后的数据须经过移位处理；3打印机接山电路。 3定标问题 测址表面粗糙度除传统的触针方法外，还有光学方沾、应川电磁现象的方法以及依赖于 粗糙表面'与所接触的流动气体或流动液体相红作用的方法。现在的国标是以触针法为依据制 订的。实际上各种不同的测量方法得到的机糙度之间是行差异的或者说是不一致的。用斜藏面 法测得轮廓最大峰至谷的粗糙度和用触针法测试的结果比较，最人的不一致甚至达到100%。 用物理光学法确定的粗糙度比触针测量仪测量的相应粗糙度普遍地大一倍。最近刊际的实 践证明，甚至标准化实验室之创也能出现10%的差异2)。因此表面粗糙度测量仪的定标问 题是一个比较父朵的理论和实标问题。用激光散射方法测量粗糙度的潜在力量很明显，谢量 速度十分高，它有可能实时检验加工小零件的表面粗糙度，可取代那些不可靠的离线的抽样 检验方法。但正如上面指出的，此方法也存在一个定标和如何与国标相吻合的问题。 反射散射比法测定粗糙度P,的绝对定标公式为 (-p (4) 对于本仪器，入射拍a=60°，接收距离d=130mm,t1=2mm,t:=62mm,激光波长 1=0.63284m 4π W hcos60)dh c-2(2)2dh =e(212)2 =e2)2 a1=tg-4=0.0151 :=lg日=0.46 p1=10)d0/小f6)d0==0.4916 p:=0w/小 2f(0)d0=0.0190 所以反射散射比法绝对定标公式为： 378尤 核能 笙 ‘ 厂 ” 一 ” 前置放 大 光 犷能 、 · 。 一 ， 卜 、脉 、 … 。 。 了 一…翟 …一 印 丝 一 机 转换 二级放大 开路多协 一︸ 中断采集处 理 ， 经 一 丫 转 换 后的 数 据项圣 过 移位处 理 勿打 印 机接 一 电路 。 定 标 问 题 测 址表面 粗 糙 度除 专统 的触 卜 一 方法外 ， 还有 光 学 方法 、 应 川 电滋 现 象 的 方 法 以 及依 赖干 粗 糙表面 与所接 触 的 流动 气体或 流 动液 体 相互 作用的 方法 。 现 在的 闷标是 以触针 去为 依据 制 订 的 。 实际 上 吝种 不 同 的 测 从方法 得到 的 糙度 之 间是 有差 异的或 者说是 不一致 的 。 用斜 截而 法测得轮 廓 址 大峰 至 补的 粗 糙度 和 用触针 法测 试的结 果比较 ， 最人 的 不一 致 甚至 达到 。 川物理 光 学法 确 定 的粗 糙 度比触针 测 量仪 测 从的 相应粗 糙 度普遍地 大一 合 。 最近 囚际 间的实 践 证明 ， 甚 至标 准 化 实验 室 之 叭 也能出现 。 的 差 异 〔 〕 。 因此 表面粗 糙 度 测 量仪 的 定标 问 题是 一个 比较 复 袭的理 论和 实 际 问题 。 用激 光 散射 方法测 量 粗 糙度 的潜 在力量很 明显 ， 测 业 速度 一 卜分 高 ， 它 有可 能 实 时检 验 加 二小零 件的 表面 粗糙 度 ， 可 取代 那些 不 可靠的离线 的抽 样 检 验方法 。 但 正如 上面指出的 ， 此 方法也存 在一 个定标和如 何与国标相 吻 合的 问题 。 反射 散射比法 测 定粗糙度 的绝对 定标 公式 为 牙 卜 牙 ’ ， ” ‘ “ 污 一 ， ” “ “ 一 牙 ，‘” ，‘ ” 一 一 ‘“ ” 一 犷厂 对 于本仪 器 ， 入射 角 “ ， 接收 距 离 ， ， ， ， 激 光 波长 几 。 拜 、 、 、 一 。 一 ‘ 、 产 一 。 一 婿 “ 。 一 。 。 · 内 一 、 。 一 ’ “ 。 一 ‘犷厂 “ · 叭 二 ， 七 一 · 。 ‘ ‘ ‘之 七 · “ “ ， “ “ 方 ，“ ， “ 。 ， ‘ ， “ ， 口 ‘ “ ， ” 二 · ” ‘ ” 所 以反射 散射 比 法绝 对 定标 公 式为