三、长度及线位移传感器 几何量中最基本的测试内容 工业在线检测、计量测试、检定标定 长度面与面、线与线、点与点之间的距离及它们之间的组合 广义~圆柱体的轴径和孔径；立方体的长度、宽度、高度（厚度）； 孔和槽的深度；孔间距、轴心距等 传感器：机械式（杠杆、齿轮）、电感、电容、光栅、磁栅、容栅、 感应同步器、光电式 1、电容传感器： 原理：被测量~电容变化平板电容器的电容量 特点：结构简单，分辨力高，非接触 应用：可在高温、辐射、振动等条件下工作 1) 电容传感器原理、结构与特性 a)变极距型电容传感器 定极板 初始电容量： 8o 极距变化：60-δ-Aδ 电容增大： 动极板 EA C=C+△C δ。-△8 01-△δ/δg工业在线检测、计量测试、检定标定 三、长度及线位移传感器 --- 几何量中最基本的测试内容 1、电容传感器： 原理：被测量--- 电容变化 平板电容器的电容量：   = A C 特点：结构简单，分辨力高，非接触 应用：可在高温、辐射、振动等条件下工作 1）电容传感器原理、结构与特性 a) 变极距型电容传感器 初始电容量： 0 0   = A C 极距变化：δ0 --- δ – Δδ 电容增大： 0 0 0 0 1 / 1 −   =  −   = +  = C A C C C 长度 --- 面与面、线与线、点与点之间的距离及它们之间的组合 传感器：机械式（杠杆、齿轮）、电感、电容、光栅、磁栅、容栅、 感应同步器、光电式 广义 --- 圆柱体的轴径和孔径；立方体的长度、宽度、高度（厚度）； 孔和槽的深度；孔间距、轴心距等