微型化? 电子器件在过去的几十年里持续微型化,由于 技术和经济原因,难以再延续下去 *光刻技术达到物理分辨率约70mm的极限 *另一方面,新工艺设备的成本指数增长 s top-down vs bottom-up 1974年 Ratner提出分子器件概念 *随着STM,IBM、AT&T和 Siemens资助下兴起 *近年来由于极限将至,研究又受到极大的重视 *重要意义:分子电子器件→下一代电子器件? * bottom-p技术还能够整个地改变电子器件的概念 该领域的研究仍然处于初始阶段 *真正意义上的分子电子器件刚刚在实验室实现 10.107.0.68/ inche 量子输运理论基础10.107.0.68/~jgche/ 量子输运理论基础 6 微型化？ • 电子器件在过去的几十年里持续微型化，由于 技术和经济原因，难以再延续下去 * 光刻技术达到物理分辨率约70nm的极限 * 另一方面，新工艺设备的成本指数增长 * top-down vs. bottom-up • 1974年Ratner提出分子器件概念 * 随着STM，IBM、AT&T和Siemens资助下兴起 * 近年来由于极限将至，研究又受到极大的重视 * 重要意义：分子电子器件下一代电子器件？ * bottom-up技术还能够整个地改变电子器件的概念 • 该领域的研究仍然处于初始阶段 * 真正意义上的分子电子器件刚刚在实验室实现