5.离子检测器 (1)电子倍增器 离子撞击阴极，产生二次电子，经多个二次电极(15~18级) 使电子不断倍增；可测出1017A微弱电流。存在质量歧视。 (2)渠道式电子倍增器阵列 在各渠道内壁涂有三次电子发射材料而构成倍增器。5.离子检测器 （1）电子倍增器 离子撞击阴极，产生二次电子,经多个二次电极（15～18级） 使电子不断倍增；可测出10-17A微弱电流。存在质量歧视。 （2）渠道式电子倍增器阵列 在各渠道内壁涂有二次电子发射材料而构成倍增器