电子束发生、 田 界D 控制装置 阴极 原喱图 聚束极 灯丝 加速电源 抽空 阳极 隔离阀 聚焦线圈 F翩 偏转线圈」 WP 电子束 试样抽空偏转电源电子束发生、 控制装置 原理图