真空的特性 压力 主要气体负载 (Torr) Atm. 湿空气 10-3 水蒸汽(75%-95% 10-6 H2O.CO 10-9 H2O.CO.N2.H2 10-10 CO.H2 10-11 H2压力 (Torr) Atm. 10-3 10-6 10-9 10-10 10-11 主要气体负载 湿空气 水蒸汽 (75 %- 95%) H2O, CO H2O, CO, N2, H2 CO, H2 H2 真空的特性