问题：表面测量要求一1小时内污染小于5%， 请问真空度至少要达到多少？请选择 合适的真空泵，并画出连接示意图。 问题：表面测量要求－1小时内污染小于5%， 请问真空度至少要达到多少？请选择 合适的真空泵，并画出连接示意图