Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 第二章集成电路制作工艺 21.1集成电路加工的基本操作 21.2MOS结构和分类 2.2.1N阱cMos工艺 2.2.2深亚微米CMoS工艺 23.1 CMOS IO中的寄生效应 23.2S0I工艺 233CMos版图设计规则2 第二章 集成电路制作工艺 2.1.1 集成电路加工的基本操作 2.1.2 MOS结构和分类 2.2.1 N阱CMOS工艺 2.2.2 深亚微米CMOS工艺 2.3.1 CMOS IC中的寄生效应 2.3.2 SOI工艺 2.3.3 CMOS版图设计规则 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only