3.1.1金属氧化物半导体传感器 3.金属氧化物半导体传感器的检测机理 (3)非电阻型半导体气敏传感器 这种类型的传感器是利用半导体表面的空间电荷层或金属-半导体接触势垒的 变化，导致半导体伏安特性的变化而进行气体检测的.3.1.1 金属氧化物半导体传感器 3.金属氧化物半导体传感器的检测机理 （3）非电阻型半导体气敏传感器 这种类型的传感器是利用半导体表面的空间电荷层或金属-半导体接触势垒的 变化，导致半导体伏安特性的变化而进行气体检测的