4.电感耦合（高频）等离子体焰炬 等离子体是一种电离度大于0.1%的电离气 体，由电子、离子、原子和分子所组成，其中电 子数目和离子数目基本相等，整体呈现中性。 最常用的等离子体光源是电感耦合高频等离 子体焰炬(inductive coupled high frequency plasma,ICP)。其装置由高频发生器、 等离子炬管和雾化器三部分组成