三、研磨、抛光的加工变质层 不管采取什么加工方法,或多或少要在被加工表面 上产生加工变质层,加工变质层使工件材质的结构、 组织和组成遭到破坏或接近于破坏状态,使工件表面 的力学性能、物理化学性能与母体材料不同,进而影 响制成元件的性能,因此在超精密硏磨抛光中要求变 质层越薄越好。 硬脆材料研磨后的表面,从表层向里依次为:非晶 体层或多晶体层、镶嵌结构层、畸变层和完全结晶结 构,从弹塑性力学的角度评价变质层,依次为:极薄 的塑性流动层、有异物混入的裂纹层、裂纹层、弹性 变形层和母体材料。金属材料研磨后的加工表面变质 层与硬脆材料类似。 2021/2/212021/2/21 三、研磨、抛光的加工变质层 不管采取什么加工方法，或多或少要在被加工表面 上产生加工变质层，加工变质层使工件材质的结构、 组织和组成遭到破坏或接近于破坏状态，使工件表面 的力学性能、物理化学性能与母体材料不同，进而影 响制成元件的性能，因此在超精密研磨抛光中要求变 质层越薄越好。 硬脆材料研磨后的表面，从表层向里依次为：非晶 体层或多晶体层、镶嵌结构层、畸变层和完全结晶结 构，从弹塑性力学的角度评价变质层，依次为：极薄 的塑性流动层、有异物混入的裂纹层、裂纹层、弹性 变形层和母体材料。金属材料研磨后的加工表面变质 层与硬脆材料类似