第章半导体传感器 912半导体气敏传感器的机理 制作机理:利用气体在半导体表面的氧化和还原反应 导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态,在气体接触半导体表面而被 吸附时→被吸附的分子首先在表面物性自由扩散→失去运动能量, 部分分子被蒸发掉,另一部分残图分子产生热分解而固定在吸附处 (化学吸附)→ 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力气体的吸附和渗透特 性)时→吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附,半导体表面 呈现电荷层。例如氧气等具有负离子级附倾向的气体被称为 氧化型气体或电子接收性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能,吸附分子将向器 件释放出电子,而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气 体有H2、CO、碳氢化合物和醇类,它们被称为还原型气 体或电子供给性气体。第9章 半导体传感器 9.1.2 半导体气敏传感器的机理 制作机理：利用气体在半导体表面的氧化和还原反应 导致敏感元件阻值变化而制成的。 当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被 吸附时→被吸附的分子首先在表面物性自由扩散→失去运动能量，一 部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处 （化学吸附）→ 当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力(气体的吸附和渗透特 性)时→吸附分子将从器件夺得电子而变成负离子吸附， 半导体表面 呈现电荷层。例如氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为 氧化型气体或电子接收性气体。 如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器 件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向的气 体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气 体或电子供给性气体