近代物理实验 物理系黄冠00104035 的很薄。通俗的解释是电子打到材料上,由于可能多次散射和碰撞,产生电子的区域要比原来探针 的直径大很多,而如果切薄材料,则多次散射碰撞的 影响应该减小(多次散射碰撞的电子从材料背面透射 过去了) E入射电子稟 做完实验后我又查阅了一些资料,支持了以上的 说法:如右图所示,扫描电镜中主要的信号是二次电 款电子 子和背散射电子。 次电子 二次电子来自表面5-10nm的区域,能量为 臂反射电子 0-50eV。它对试样表面状态非常敏感,能有效地显 縛延斛幔 示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层,入射 电子还没有被多次反射,因此产生二次电子的面积与 X射线 入射电子的照射面积没有多大区别,所以二次电子的 由连续和特X射 分辨率较高,一般可达到5-10m 散发的二次光 反射电子的 背散射电子的产生范围在100nm-1mm深度,因 为经过了多次散射和反射,所以区域范围较大,成像 X射晚的分事 分辨率一般为50-200nm。 如果样品较厚,就会产生较多的背散射电子,所 以切薄样品也是一个提高分辨率的方法。 2.关于金刚石晶体的形态 由于扫描电镜的特点(放大倍数一般可达20到20万倍,分辨率和景深也较高),能够很好的表 征CVD金刚石膜表面的形貌 我们在样品2、3、4中都观测到了密集生长的金刚石颗粒(可参看胶片4,5,10) 样品4的晶粒生长尤其规则,我们观察到了许多规则的多面体,并用胶片将细节记录下来 限于冲洗条件,我只能画出观测结果的示意图,具体可参看我们拍的胶片 胶片8 胶片7 胶片1 由这三张胶片可确定,我们观测的晶粒中具有如下图所示的外形结构 在这种多面体中只有两种不同的面:其中正方形对应{100},三角形对应{11,所有的顶点都是 等价的。近代物理实验 物理系 黄冠 00104035 的很薄。通俗的解释是电子打到材料上，由于可能多次散射和碰撞，产生电子的区域要比原来探针 的直径大很多，而如果切薄材料，则多次散射碰撞的 影响应该减小（多次散射碰撞的电子从材料背面透射 过去了）。 做完实验后我又查阅了一些资料，支持了以上的 说法：如右图所示，扫描电镜中主要的信号是二次电 子和背散射电子。 二次电子来自表面 5-10nm 的区域，能量为 0-50eV。 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显 示试样表面的微观形貌。由于它发自试样表层，入射 电子还没有被多次反射，因此产生二次电子的面积与 入射电子的照射面积没有多大区别，所以二次电子的 分辨率较高，一般可达到 5-10nm。 背散射电子的产生范围在 100nm-1m m 深度，因 为经过了多次散射和反射，所以区域范围较大，成像 分辨率一般为 50-200nm。 如果样品较厚，就会产生较多的背散射电子，所 以切薄样品也是一个提高分辨率的方法。 2. 关于金刚石晶体的形态 由于扫描电镜的特点（放大倍数一般可达 20 到 20 万倍，分辨率和景深也较高），能够很好的表 征 CVD 金刚石膜表面的形貌。 我们在样品 2、3、4 中都观测到了密集生长的金刚石颗粒（可参看胶片 4，5，10）。 样品 4 的晶粒生长尤其规则，我们观察到了许多规则的多面体，并用胶片将细节记录下来。 限于冲洗条件，我只能画出观测结果的示意图，具体可参看我们拍的胶片： 胶片 8 胶片 7 胶片 1 由这三张胶片可确定，我们观测的晶粒中具有如下图所示的外形结构： 在这种多面体中只有两种不同的面：其中正方形对应{100}，三角形对应{111}，所有的顶点都是 等价的