U-LIGA技木制造微型电磁继电器的初步研究 旧万数据 文献链接 作者: 作者单位 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 刊名: 微纳电子技术sTp 英文刊名: MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY 年,卷(期 2002,39(4) 引用次数 I Rogge B SchIz J. Mohr J Fully batch fabricated mag netic microactuators using a two layer LIGA process 1995 2. Wright J A. Yu C T Chang S C Large-force fully-integrated MEMS magnetic actuator 1997 3. Hashimoto E. Uenishi Y Watabe A Thermally controlled magnetization microrelay 1995 1.会议论文张鹏.刘刚.田扬超UV-LIGA技术 器的初步研究2001 本文详细阐述了一种微型电 技造图电题电 电极、悬臂梁结结构和电磁线圈组成.设计过程中考虑了微继电器打开、闭合时电 磁力、静电力和悬臂梁回复力之间的制约关系,即微继电器打开 于接触部位的静电力:闭合时电磁力应大于悬臂梁的回复力从而推算出电磁线圈的 安匝数和悬臂梁结构尺寸的合理范围井选定了合适的参数,用W-IGA技术初步制作了这种微型电磁继电器的主要部分 证文就(2条) 1.许高斌.李洋.何晓雄.矫妹静电型微继电器的设计与研究[期刊论文]-真空科学与技术学报2007(05) 2.李全宝.景玉鹏.刘茂哲.陈大鹏.欧毅.马瑾.叶甜春电磁驱动 RF MEMS开关的研究状况[期刊论文]-电子工业专用设备 本文链接:http://d.g.wanfangdata.comcn/periodiCalwndzjs200204008.aspx 下载时间:2010年2月15UV-LIGA技木制造微型电磁继电器的初步研究 作者： 张鹏， 刘刚， 田扬超 作者单位： 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽,合肥,230029 刊名： 微纳电子技术 英文刊名： MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2002，39(4) 引用次数： 2次 参考文献(3条) 1.Rogge B.Schlz J.Mohr J Fully batch fabricated mag netic microactuators using a two layer LIGA process 1995 2.Wright J A.Yu C T.Chang S C Large-force fully-integrated MEMS magnetic actuator 1997 3.Hashimoto E.Uenishi Y.Watabe A Thermally controlled magnetization microrelay 1995 相似文献(1条) 1.会议论文 张鹏.刘刚.田扬超 UV-LIGA技术制造微型电磁继电器的初步研究 2001 本文详细阐述了一种微型电磁继电器的设计和初步研制过程.该微继电器主要由电极、悬臂梁结结构和电磁线圈组成.设计过程中考虑了微继电器打开、闭合时电 磁力、静电力和悬臂梁回复力之间的制约关系,即微继电器打开时悬臂梁回复应大于接触部位的静电力;闭合时电磁力应大于悬臂梁的回复力.从而推算出电磁线圈的 安匝数和悬臂梁结构尺寸的合理范围并选定了合适的参数,用UV-LIGA技术初步制作了这种微型电磁继电器的主要部分. 引证文献(2条) 1.许高斌.李洋.何晓雄.矫妹 静电型微继电器的设计与研究[期刊论文]-真空科学与技术学报 2007(05) 2.李全宝.景玉鹏.刘茂哲.陈大鹏.欧毅.马瑾.叶甜春 电磁驱动RF MEMS开关的研究状况[期刊论文]-电子工业专用设备 2007(01) 本文链接：http://d.g.wanfangdata.com.cn/Periodical_wndzjs200204008.aspx 下载时间：2010年2月15日