3.教学内容 采用光纤光谱仪测量Ar、碳氟气体的容性耦合放电等离子体发射光谱，通过光谱识 别放电等离子体中的基团，测量基团的相对浓度。 4.教学方法 学生自主选趣，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目21：纳米薄膜的红外光谱测定和分析 1.教学目标 (1)熟悉双光束红外分光光度计的操作以及系统软件使用方法 (2)学习使用红外分光光度计测量薄膜样品的红外吸收光谱。 2.教学重难点 红外分光光度计的使用 3.教学内容 学习红外分光光度计测量薄膜样品的红外吸收光谱的技术和方法。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目22：纳米薄膜的紫外光谱测定和分析 1.教学目标 (1)熟悉紫外可见光分光光度计的操作以及系统软件使用方法： (2)学习使用紫外可见光分光光度计测量薄膜样品透射率和吸收系数。 2.教学重难点 紫外可见光分光光度计的使用。 3.教学内容 学习紫外可见光分光光度计测量薄膜样品透射率和吸收系数的技术和方法。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核：学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价11 3.教学内容 采用光纤光谱仪测量 Ar、碳氟气体的容性耦合放电等离子体发射光谱，通过光谱识 别放电等离子体中的基团，测量基团的相对浓度。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目 21：纳米薄膜的红外光谱测定和分析 1.教学目标 （1）熟悉双光束红外分光光度计的操作以及系统软件使用方法； （2）学习使用红外分光光度计测量薄膜样品的红外吸收光谱。 2.教学重难点 红外分光光度计的使用。 3.教学内容 学习红外分光光度计测量薄膜样品的红外吸收光谱的技术和方法。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价 课前自主选题预案，课后完整实验报告。 实验项目 22：纳米薄膜的紫外光谱测定和分析 1.教学目标 （1）熟悉紫外可见光分光光度计的操作以及系统软件使用方法； （2）学习使用紫外可见光分光光度计测量薄膜样品透射率和吸收系数。 2.教学重难点 紫外可见光分光光度计的使用。 3.教学内容 学习紫外可见光分光光度计测量薄膜样品透射率和吸收系数的技术和方法。 4.教学方法 学生自主选题，教师审核；学生动手实验，教师辅助指导。 5.教学评价