观而的取 晶振片知识 积而愿 晶振片知识 、什么是晶振片? 薄薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经过反复 的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的(厚023mm,直径13.98mm)圆片,每个圆片 经切边,抛光和清洗,最后镀上金属电极(正面全镀,背面镀上钥匙孔形),经过检测,包装 就可以出厂使用。 晶振片包装盒 008010G10 OINFICON 008009G10 6 MHZ 1晶振片 LeeN COaTLD CaMEraL Inficon晶振片及包装盒 然而,这样的小薄片是如何工作的?科学家最早发现一些晶体材料,如石英,经挤压就 象电池可产生电流(俗称压电性),相反,如果一个电池接到压电晶体上,晶体就会压缩或伸 展,如果将电流连续不断的快速开关,晶体就会振动。 在1950年,德囯科学家 GEORGE SAUERBREY研究发现,如果在晶体的表面上镀一层 薄膜,则晶体的振动就会减弱,而且还发现这种振动或频率的减少,是由薄膜的厚度和密度 决定的,利用非常精密的电子设备,每秒钟可能多次测试振动,从而实现对晶体镀膜厚度和 邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此,膜厚控制仪就诞生了。 Inficon膜厚控制仪( (thin film deposition controller 第1页,共10页第 1 页，共 10 页 博观而约取 晶振片知识 广积而厚发 晶振片知识 一﹑什么是晶振片？ 薄薄圆圆的晶振片，来源于多面体石英棒，先被切成闪闪发光的六面体棒，再经过反复 的切割和研磨，石英棒最终被做成一堆薄薄的（厚 0.23mm，直径 13.98mm）圆片，每个圆片 经切边，抛光和清洗，最后镀上金属电极（正面全镀，背面镀上钥匙孔形），经过检测，包装 就可以出厂使用。 晶振片 晶振片包装盒 Inficon 晶振片及包装盒 然而，这样的小薄片是如何工作的？科学家最早发现一些晶体材料，如石英，经挤压就 象电池可产生电流（俗称压电性），相反，如果一个电池接到压电晶体上，晶体就会压缩或伸 展，如果将电流连续不断的快速开关，晶体就会振动。 在 1950 年，德国科学家 GEORGE SAUERBREY 研究发现，如果在晶体的表面上镀一层 薄膜，则晶体的振动就会减弱，而且还发现这种振动或频率的减少，是由薄膜的厚度和密度 决定的，利用非常精密的电子设备，每秒钟可能多次测试振动，从而实现对晶体镀膜厚度和 邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此，膜厚控制仪就诞生了。 Inficon 膜厚控制仪(thin film deposition controller)