沉积过程: ①在主气流区域,反应物从反应器入口到分解区域的质量输 运 ②气相反应产生膜形成的前驱体和副产物 ③成膜前驱体质量输运至生长表面; ④成膜前驱体吸附在生长表面; ⑤成膜前驱体表面扩散至生长点; ⑥表面反应和构成膜的生长; ⑦表面反应产物的副产物分解; ⑧副产物从分解区向反应器出口进行质量输运,直至排出沉积过程： ① 在主气流区域，反应物从反应器入口到分解区域的质量输 运； ② 气相反应产生膜形成的前驱体和副产物； ③ 成膜前驱体质量输运至生长表面； ④ 成膜前驱体吸附在生长表面； ⑤ 成膜前驱体表面扩散至生长点； ⑥ 表面反应和构成膜的生长； ⑦ 表面反应产物的副产物分解； ⑧ 副产物从分解区向反应器出口进行质量输运，直至排出