(6)俄歇电子 其它物理信号 uge 发数 除了上述六种信号外，固体样品中还会产生 列如阴极荧光、 电子束感生效应 信号，这 些信号经过调制后也可以用于专门的分析。 所以它1 这说明 电 ⊙ 24扫描电子显微镜的主要性能 )整大倍数 ·()放大倍数(magnification) ·(②)分辨率(resolution) ·()最深(depth of field/depth of focus) 胜默导路 月群统叠色日由被大售数为20-20信， © 《)分辨室 ()分辨率 (resolution ,分辨率是扫推电子显微铺主要性能指标， 生高能入 子作 意高。入时目 分本 直径 可使 翼酒号产生 射地于在并品中的Auger electron • • • 其它物理信号 • • (1) magnification • (2) resolution • (3) depth of field / depth of focus (1) 放大倍数 （magnification） • • • C S A M A = (2) 分辨率 （resolution） • • nm 1nm • (2) 分辨率 （resolution） • • ,