3.2压力传感器 3.弹性式压力计 原理是利用各种弹性元件作为感受件，弹性元件受力后的反作用力与被测 压力平衡，此时弹性元件的变形就是被测压力的函数，可以用测量弹性变形来 测得压力。测量范围宽10Pa~100Pa。目前使用普遍的弹性元件有三类：薄膜 式；波纹式；弹簧管式。 力平衡式压力计的原理是被测压力或压差作用于弹性敏感元件上，弹性敏 感元件感受压力作用并将其转换为位移或力，并作用与力平衡系统，力平衡系 统受力后将偏离原有的平衡状态；由偏差检测器输出偏差值至放大器；放大器 将信号放大并输出电流（或电压）信号，电流信号控制反馈力或力矩发生机构， 使之产生反馈力，与作用力平衡时，仪表处于新的平衡状态；显示机构可输出 与被测压力或压差相对应的信号。 敏感元件 放大器 显示机料 反馈力 发生机构 图3.2力平衡式压力计的基本框图 第3章机电系统中的传感器技术 8第3章 机电系统中的传感器技术 8 3.2 压力传感器 3.弹性式压力计 原理是利用各种弹性元件作为感受件，弹性元件受力后的反作用力与被测 压力平衡，此时弹性元件的变形就是被测压力的函数，可以用测量弹性变形来 测得压力。测量范围宽10Pa~100Pa。目前使用普遍的弹性元件有三类：薄膜 式；波纹式；弹簧管式。 力平衡式压力计的原理是被测压力或压差作用于弹性敏感元件上，弹性敏 感元件感受压力作用并将其转换为位移或力，并作用与力平衡系统，力平衡系 统受力后将偏离原有的平衡状态；由偏差检测器输出偏差值至放大器；放大器 将信号放大并输出电流（或电压）信号，电流信号控制反馈力或力矩发生机构， 使之产生反馈力，与作用力平衡时，仪表处于新的平衡状态；显示机构可输出 与被测压力或压差相对应的信号