S4.8、位敏传感器 光电位置传感器是一种对入射到光敏面上的光点位置敏感的光 电器件，其输出信号与光点在光敏面上的位置有关。 特点 它对光斑的形状无严格要求，即输出信号与光的聚焦无关，只与 光的能量中心位置有关： 光敏面无需分割，消除了死区，可连续测量光斑位置，位置分辨率 很高，一维可以达到0.2um; 可同时检测位置和光强。 2022/10/7 12022/10/7 1 S4.8、位敏传感器 光电位置传感器是一种对入射到光敏面上的光点位置敏感的光 电器件，其输出信号与光点在光敏面上的位置有关。 它对光斑的形状无严格要求,即输出信号与光的聚焦无关，只与 光的能量中心位置有关； 光敏面无需分割，消除了死区，可连续测量光斑位置，位置分辨率 很高，一维可以达到0.2um； 可同时检测位置和光强。 特点：