簿膜光学典型膜系」 金属膜的制作工艺 □温度、速度、厚度、真空度、蒸发角度 口连接层(内、外反射) 口保护层(透明波段) 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 金属膜的制作工艺 ❑温度、速度、厚度、真空度、蒸发角度 ❑ 连接层（内、外反射） ❑ 保护层（透明波段）