8.22扩散泵 2工作原理 油射流的形成 扩散泵底部的高真空油在经泵外电炉加热后,产生的油蒸 气沿着烟囱管传输到上部,经平行喷嘴向下喷出。由于前 级机械泵的抽空作用,喷嘴外的气体压强很低,压差使油 蒸气从喷嘴处定向髙速喷出,形成射流。 射流具有很强的带分子的能力 P-高的射流运动速度 蒸气流密度大 -油的分子量大 被抽分子一旦落入射流范围,便可从射流中获得向出口方 向运动的动量,迅速往下方飞去,因此在射流界面内被抽 气体分子不能长期滞留。 ◆被抽气体分子进入射流 由于被抽气体分子不能在射流中长期滞留,因此被抽气体 分子在射流中密度很小,射流界面上与界面内的被抽气体 分子密度差使气体分子不断向射流中扩散,进入射流后被 髙速流动的射流带至机械泵抽口附近,最终被机械泵抽2 工作原理 Š 油射流的形成 – 扩散泵底部的高真空油在经泵外电炉加热后，产生的油蒸 气沿着烟囱管传输到上部，经平行喷嘴向下喷出。由于前 级机械泵的抽空作用，喷嘴外的气体压强很低，压差使油 蒸气从喷嘴处定向高速喷出，形成射流。 Š 射流具有很强的带分子的能力 – 高的射流运动速度 – 蒸气流密度大 – 油的分子量大 被抽分子一旦落入射流范围，便可从射流中获得向出口方 向运动的动量，迅速往下方飞去，因此在射流界面内被抽 气体分子不能长期滞留。 Š 被抽气体分子进入射流 – 由于被抽气体分子不能在射流中长期滞留，因此被抽气体 分子在射流中密度很小，射流界面上与界面内的被抽气体 分子密度差使气体分子不断向射流中扩散，进入射流后被 高速流动的射流带至机械泵抽口附近，最终被机械泵抽 走 8.2.2 扩散泵