2.3扫描电镜成像的物理信号 2.3扫描电镜成像的物理信 电子束与杆品的相互作用 人射电于件产生的情号 制将样季有工限手高 © 23扫描电镜成像的物理信号 (1)背散射电子 不同信号的用 a ering electron) 用 是指被国传 品中的于反弹回来的 分) 电子 的酸射角大 电子的 电 电子 非性收电于 电 肉后产生非弹 CL(览先 喜射后仍能反出样品表通，这就形 ⑧ (1)背敬射由子 (2)二次电子 (backscattering electron) electron) 聚电子的能 百通，从十电子快到 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子 从上看，弹性射电子比弹性射电子所古 由于康 树，定地选行成分分标• 电子束与样品的相互作用 不同信号的用途 backscattering electron • • • • • • • • • 1000Å 1 m backscattering electron （secondary electron） • • • •