图生一 3.化学发展的未来 @生芯片的制造一微电子技术的关键 信息科学 年代1951p11 鲁超大规模集成电路，制造工艺的60%以上是化学 的应用： 35k:248163华 品 中 如4Mb的动态随机存取和存储器芯片制造工艺， 有164个工艺步骤，其中有118个依据化学，包括 工程工作 化学合成、化学加工、化学处理等。 地单适瑰胶力 龙制过行 够受是义 。 圈秋生 化学的研究方法 Steps in the Scientific MethodShanghai Jiao Tong University 信息科学 超大规模集成电路，制造工艺的60%以上是化学 的应用： 如4Mb的动态随机存取和存储器芯片制造工艺， 有164个工艺步骤，其中有118个依据化学，包括 化学合成、化学加工、化学处理等。 3.化学发展的未来 Shanghai Jiao Tong University 芯片的制造－微电子技术的关键 Shanghai Jiao Tong University Steps in the Scientific Method 化学的研究方法