Vol.22 No.1 谢光明等：干涉型A-O选择性吸收表面的研究 61 不匹配时会产生明显的干涉峰(0.3和1.5m附 的干涉与吸收双重作用，可以得到理想的干涉 近)使吸收率下降，如图3中曲线1所示.因此 型A-N-O选择性吸收涂层，涂层在吸收率足 调节各层的干涉厚度，将紫外及近红外两端的 够高的的情况下发射率更低、热性能更加稳定 干涉峰尽可能压低，并将其转移到太阳能量密 度低的长波波段.经过反复地实验寻优，确定了 致谢：北京科技大学材料科学与工程学院于广华讲师、 当填充因子f在0.2~0.4范围时，A1-N-0双吸 北京市太阳能研究所郭淑玲承担了本课题的测试工作， 收层厚度在20-120m之间，A1-N0介质减反 在此一并表示诚挚的感谢. 射层厚度为40-60nm,效果最佳.在此范围内， 参考文献 膜层反射率曲线在短波段变化平缓，没有明显 1殷志强.选择性吸收涂层的回顾与发展.太阳能学 的干涉峰，在红外波段上升陡峭，因而使膜层具 报，1992,13(2)，192 有较高的吸收率a(0.930.95)和较低的发射率e 2 Zhang Q.C.High Solar Performance Selective Surface (0.040.06),发射率随温度变化不大. Using Bi-sublayer Cermet Film Structures.Solar Energy Materials and Solar Cells,1992,27:273 4结论 3田民波，刘德令.薄膜科学与技术手册，北京：机械工 业出版社，1991.711 通过控制膜层填充因子与厚度，利用膜层 4赵玉文，黄涵芬.阳极氧化铝选择性吸收涂层的光学 性能研究.太阳能学报，1985,6(2)，136 Study Interference Effect Al-N-O Solar Selective Surface XIE Guangming",LI Jinxu,GAO Hansan,YIN Wanli 1)Beijing Solar Energy Research Institute,Beijing 100083,China 2)Material Science and Engineering School,UST Beijing,Beijing 100083,China ABSTRACT Interference effect is used to improve solar performance of Al-N-O selective absorbing sur- face.Through experiments the film structure of two Al-N-O sublayers with different thickness and metal vol- ume fractions is established.Compared with the graded films,the bi-sublayer films have lower emittance and better thermal stability.The new films have been used in the mass production of heat pipe evacuated tubular collectors.High solar performance (a=0.93~0.95,8(353 K)=0.04~0.06)have been obtained on the surface of the absorber. KEY WORDS effective medium theories;interference effect;metal volume fraction;magnetic sputtering谢 光 明等 干涉型 戒 选择 性 吸 收表 面 的研 究 不 匹 配 时会产 生 明 显 的干涉 峰 和 娜 附 近 使吸 收率 下 降 ， 如 图 中 曲线 所 示 因 此 调 节各 层 的干涉 厚度 ， 将 紫外及 近 红 外 两 端 的 干 涉 峰 尽 可 能 压 低 ， 并将 其转 移 到 太 阳 能量 密 度低 的长波波段 经 过 反 复地 实验 寻 优 ， 确定 了 当填充 因 子了又 、 在 一 范 围 时 ， 一刃 双 吸 收层 厚 度 在 一 之 间 ， ， 刃 介质 减 反 射 层 厚 度 为 一 ， 效 果 最 佳 在 此 范 围 内 ， 膜层 反 射 率 曲线在 短波 段 变 化平 缓 ， 没 有 明显 的干涉 峰 ， 在 红外 波段 上 升 陡峭 ， 因而 使膜层 具 有较 高 的吸 收 率 一 和 较 低 的发 射 率 一 ， 发射 率 随温度变化 不 大 的干 涉 与 吸 收双 重 作用 ， 可 以得 到 理 想 的干 涉 型 袄 选择 性 吸 收涂层 ， 涂层 在 吸 收率足 够 高的 的情况 下 发射率更 低 、 热 性 能更 加稳 定 结 论 通过 控 制 膜层 填 充 因 子 与厚 度 ， 利用 膜 层 致 谢 北 京科技 大学材料科 学 与工 程 学 院于广 华讲师 、 北 京市太 阳 能研究所郭淑玲承担 了本课题 的测 试工 作 ， 在 此一 并表示诚 挚 的感 谢 参 考 文 献 殷志 强 选择性吸 收涂层 的回顾与 发展 太 阳能学 报 ， ， ， 一 ， ， 田 民波 ， 刘德令 薄膜科 学与 技术手册 北 京 机械 工 业 出版 社 ， 赵玉文 ， 黄涵 芬 阳极氧化铝选择性吸 收涂层 的光学 性 能研 究 太 阳 能 学报 ， ， ， 卜 司 石百 刀 刀， 跟 ， ， ， ， ， ， ， ， ‘ ， ， 优 爪理 ’ 广 辱” 】一 二 ‘ ， 一 一 ， 一 哑