第五节典型的双光束干涉系统及其应用 典型干涉系统 、斐索( Fizeau)干涉仪:等厚干涉型的干涉仪 1)激光平面干涉仪 的组成和工作原理 天津大学精仪学院 G LPQ 天津大学作 激光平面干涉仪 241 第五节 典型的双光束干涉系统及其应用 一、典型干涉系统 1、斐索 ( Fizeau ) 干涉仪：等厚干涉型的干涉仪 L3 G L2 P Q L1 激光平面干涉仪 1）激光平面干涉仪 的组成和工作原理